12月10日晚间，上交所官网显示，沈阳富创精密设备股份有限公司(以下简称“富创精密”)科创板IPO获得受理，拟募资16亿元。
招股书显示，富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司主要产品应用的半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节。
本次科创板IPO，富创精密拟募资16亿元，用于集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地及补充流动资金。(记者 董亮 丁宁)
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