国产明场检测设备再上新台阶 天准科技加速布局

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上证报中国证券网讯 近日，天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）重磅宣布，其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破，也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是当之无愧的关键工序之一，尤其是明场缺陷检测，能够检测更广泛的缺陷类型，是其中最为关键的一环，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。同时，明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备，一直以来被国外龙头企业垄断，而矽行半导体就是为了打破这个局面而生的。

TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。对于天准科技而言，TB1000的面世，进一步完善了公司在半导体领域的产品版图。（宁晖）

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

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